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  • PHEMOS-1000 / PHEMOS-XEMMI/OBIRCH微光顯微鏡PHEMOS系列
    PHEMOS-1000 / PHEMOS-XEMMI/OBIRCH微光顯微鏡PHEMOS系列
    型號:PHEMOS-1000 / PHEMOS-X
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    EMMI微光顯微鏡是一款高分辨率微光顯微鏡,它能通過(guò)探測半導體器件缺陷導致發(fā)射的微弱光和熱來(lái)定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可與通用探測儀結合使用,因此您可以使用您已經(jīng)熟悉的樣品設置來(lái)執行各種分析任務(wù)。安裝可選的激光掃描系統可以采集高分辨率圖案圖像。不同類(lèi)型的探測器可用于各種分析技術(shù),例如發(fā)射分析、熱分析和 IR-OBIRCH 分析。

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